通用非接触式表面分析仪
Taylor Hobson - CCI MP
CCI MP非接触式3D表面测量和分析系统是抛光表面测量应用的热门产品系列，最大可达
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技术描述
- 高分辨率，最高可达 1048 x 1048 像素，并具有广视角
- 图像拼接技术，X、Y 和 Z 轴最大拼接距离可达 100 毫米
- 有效重复性（RMS）<0.2 Å，阶跃样品重复性<0.1%
- 在整个测量范围内分辨率可达埃级
- 适用于多语言的 64 位 Windows 分析和控制软件
规格
| 概述 | |
| 系统 | |
| 测量类型 | 3D非接触式 |
| 测量模式 | 相干相关干涉测量法（CCI） |
| Z 扫描器 | 超高精度闭环无压电扫描器 |
| 物镜座 | 三位炮塔 |
| X/Y 舞台 | 自动的 |
| Z 舞台 | 自动的 |
| 表现 | |
| 单次扫描范围（Z） | 标准尺寸为 2.2 毫米（闭环） |
| Z字形缝线范围 | 最远可达镜头的工作距离（目前最大为 40 毫米） |
| Z轴分辨率（最大值） | 0.01纳米 |
| 噪声基底 (Z) | <0.08 nm="" 0="" 8="" span=""> |
| 表面均方根值的重复性 | <0.01 nm="" 0="" 1="" span=""> |
| 测量点数量 | 1024 x 1024 |
| 台阶高度重复性 | 小于0.02% |
| 表面反射率 | <0.34% - 100% |
