高分辨率表面分析仪
Taylor Hobson - CCI HD
CCI HD 专为制造和研究设施而设计，可测量薄至 1.5 微米的厚度，并分析低至 50 纳米的涂层。
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技术描述
- 高达 2048 x 2048 像素的高分辨率，以及广视角
- 整个测量范围内分辨率为 0.1 Å
- 轻松测量反射表面上 0.3% 至 100% 的反射率。
- 有效重复性（RMS）<0.2 Å，阶跃样品重复性<0.1%
- 适用于多语言的 64 位 Windows 分析和控制软件
规格
| 概述 | |
| 系统 | |
| 测量类型 | 3D非接触式 |
| 测量模式 | 相干相关干涉测量法（CCI） |
| Z 扫描器 | 超高精度闭环无压电扫描器 |
| 物镜座 | 三位炮塔 |
| X/Y 舞台 | 自动的 |
| Z 舞台 | 自动的 |
| 表现 | |
| 单次扫描范围（Z） | 标准尺寸为 2.2 毫米（闭环） |
| Z字形缝线范围 | 最远可达镜头的工作距离（目前最大为 40 毫米） |
| Z轴分辨率（最大值） | 0.01纳米 |
| 噪声基底 (Z) | <0.02 nm [0.2 Å] |
| 表面均方根值的重复性 | <0.01 nm [0.1 Å] |
| 测量点数量 | 2048 x 2048 |
| 台阶高度重复性 | < 0.02% |
| 表面反射率 | < 0.34% - 100% |
