光学玻璃轮廓偏差测量机
Taylor Hobson - Luphos series
LuphoScan 是一款基于 MWLI®（多波长干涉）技术的干涉扫描系统。该系统专为光学玻璃表面的非接触式三维测量而设计。
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技术描述
- 适用于任何对称表面
- 高精度
- 适用于所有材质的测量：透明玻璃、反射镜、磨砂镜、抛光表面、粗糙表面
- 快速测量速度
- 样品直径：可选120毫米、260毫米或420毫米
规格
| 概述 | |||
| 测量系统 | |||
| 模型 | LuphoScan 120 | LuphoScan 260 | LuphoScan 420 |
| 机器类型 | 4轴（3个机械轴承，1个气浮轴承） | ||
| 测量原理 | 扫描点干涉测量法 | ||
| 传感器技术 | 基于光纤的多波长干涉仪（MWLI®） | ||
| 扫描模式（3D） | 螺旋线，等距，法线 | ||
| 测量体积（直径×高度） | 120毫米 x 75毫米 | 260 毫米 x 75 毫米 | 420毫米 x 100毫米 |
| 最大倾斜角度 | 90° | ||
| 参考系统 | 3个MWLI®传感器 | ||
| 因瓦框架 | |||
| 一阶 R、Z、T 轴误差补偿 | |||
| 对象参数 | |||
| 表面形状 | 非球面、球面、平面、略微自由曲面 | ||
| 表面处理 | 光滑的、粗糙的、透明的、镜面的、不透明的 | ||
| 反射率范围 | 0.5%……100% | ||
| 球面偏离 | 不受限制（物体传感器遵循理想轮廓） | ||
| 最大直径，倾斜角度为 90° | 25毫米 | 75毫米 | 105毫米 |
| 最大物体直径 | 120毫米 | 260毫米 | 420毫米 |
| 最大物体重量 | 15公斤 | 25公斤 | 50公斤 |
| 机器特性 | |||
| 物体挂载 | 液压膨胀卡盘（HD25 或 HD40），可选：三爪卡盘（D = 22…200 毫米） | ||
| 内部数据速率 | 2500赫兹 | ||
| 波长范围 | 1530 纳米……1610 纳米 | ||
| 激光分类 | 一年级 | ||
| 连续波输出（CW），< 1 mW | |||
| 机器尺寸（宽 x 深 x 高） | 70厘米 x 85厘米 x 186厘米 | 85厘米 x 100厘米 x 186厘米 | 100厘米 x 115厘米 x 186厘米 |
| 机器重量 | 325公斤 | 450公斤 | 600公斤 |
| 压缩空气需求 | 6..10 巴，20 升/分钟 | ||
| 电力需求 | 230伏交流电，50/60赫兹，小于700瓦 | ||
| 测量特性 | |||
| 准确度（2σ） | 抛光 | Ra < 1 μm | 1 μm ≤ Ra ≤ 3 μm |
| （入射角≤±1°） | |||
| ± 50 nm | ± 250 nm | ± 1 μm | |
| 纵向分辨率 | 0.1纳米 | ||
| Spotsize | 4微米 | ||
| 横向分辨率（每平方毫米点数） | （可调：）0.1 ... 2×105 | ||
| 数据处理 | |||
| 参数输入 | 非球面系数（均匀，不均匀） | ||
| 测量数据 | 3D、2D线扫描 | ||
| 数据导出格式 | 3D | Zygo MetroPro XYZ， | |
| X,Y,Z,dN（ASCII、二进制），X,Y,Z,dZ（ASCII、二进制） | |||
| 二维 | Taylor Hobson MOD，Taylor Hobson PRF， | ||
| X,Z,dN（ASCII、二进制），X,Z,dZ（ASCII、二进制） | |||
| 数据分析 | 3D表面可视化、可调节横截面、2D图形 | ||
| 滤波（低通滤波器、高通滤波器、高斯滤波器）、最佳拟合半径、非球面拟合、PV值 | |||
| 均方根误差、切向误差和径向误差、测量报告（PDF） | |||
