광학 유리 프로파일 편차 측정기
Taylor Hobson - Luphos series
루포스캔(LuphoScan)은 MWLI®(다중파 간섭) 기술을 기반으로 하는 간섭계 스캐닝 시스템입니다. 이 시스템은 다양한 광학 유리 표면의 비접촉식 3D 측정을 위해 설계되었습니다.
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기술 설명
- 대칭인 모든 표면에 사용 가능합니다.
- 높은 정확도
- 모든 재질에 대해 측정 가능합니다: 투명 유리, 반사 거울, 무광 거울, 광택 표면, 거친 표면.
- 빠른 측정 속도
- 시료 직경: 120mm, 260mm 또는 420mm 중 선택 가능
사양
| 개요 | |||
| 측정 시스템 | |||
| 모델들 | 루포스캔 120 | 루포스캔 260 | 루포스캔 420 |
| 시리즈 유형 | 4축 (기계식 베어링 3개, 공기 베어링 1개) | ||
| 발 자세 | 스캐닝 포인트 간섭계 | ||
| 센서 기술 | 광섬유 기반 다중 파장 간섭계(MWLI®) | ||
| 스캔 모드(3D) | 나선형, 등간격, 정상 | ||
| 측정 부피(지름 x 높이) | 120mm x 75mm | 260mm x 75mm | 420mm x 100mm |
| 최대 기울기 | 90도 | ||
| 참조 시스템 | 3개의 MWLI® 센서 | ||
| 인바 프레임 | |||
| 1차 R, Z, T축 오차 보정 | |||
| 객체 매개변수 | |||
| 표면 살균 | 비구면, 구면, 평면, 약간의 자유형 | ||
| 반대쪽 마감 | 매끄러운, 거친, 투명한, 반사되는, 불투명한 | ||
| 반사율 범위 | 0.5% ... 100% | ||
| 구형 할당 | 제한 없음 (물체 센서가 이상적인 프로필을 따라갑니다) | ||
| 90° 경사에서의 최대 직경 | 25mm | 75mm | 105mm |
| 최대 물체 직경 | 120mm | 260mm | 420mm |
| 최대 물체 무게 | 15kg | 25kg | 50kg |
| 라인 결함 | |||
| 객체 마운트 | 유압식 확장 척(HD25 또는 HD40), 옵션: 3구척(직경 = 22~200mm) | ||
| 내부 데이터 전송률 | 2500Hz | ||
| 파장 범위 | 1530nm ... 1610nm | ||
| 레이저 분류 | 1반 | ||
| 연속파 출력(CW), 1mW 미만 | |||
| 기계 크기(가로x세로x높이) | 70cm x 85cm x 186cm | 85cm x 100cm x 186cm | 100cm x 115cm x 186cm |
| 기계 중량 | 325kg | 450kg | 600kg |
| 확정된 항공 수요 | 6-10 bar, 20리터/분 | ||
| 전력 요구량 | 230VAC, 50/60Hz, 700W 미만 | ||
| 측정 특성 | |||
| 정확도(2σ) | 매끄러운 | Ra < 1 μm | 1 μm ≤ Ra ≤ 3 μm |
| (입사각 ≤ ± 1°) | |||
| ± 50 nm | ± 250 nm | ± 1 μm | |
| 종방향 해상도 | 0.1 nm | ||
| 스팟사이즈 | 4 μm | ||
| 측면 해상도(mm²당 포인트 수) | (조절 가능:) 0.1 ... 2×105 | ||
| 데이터 처리 | |||
| 매개변수 입력 | 비구면 계수(짝수, 불균일) | ||
| 측정 데이터 | 3D, 2D 라인 스캔 | ||
| 데이터 내보내기 형식 | 3D | 지고 메트로프로 XYZ, | |
| X,Y,Z,dN (ASCII, 이진수), X,Y,Z,dZ (ASCII, 이진수) | |||
| 2D | 테일러 홉슨 MOD, 테일러 홉슨 PRF, | ||
| X,Z,dN (ASCII, 이진수), X,Z,dZ (ASCII, 이진수) | |||
| 데이터 분석 | 3D 표면 시각화, 단면 조정 가능, 2D 그래픽, | ||
| 필터링(LPF, HPF, 가우시안), 최적 적합 반경, 비구면 적합, PV, | |||
| 실효값, 접선 오차 및 반경 오차 측정 보고서(PDF) | |||
