고해상도 표면 분석기
Taylor Hobson - CCI HD
제조 및 연구 시설에서 사용하도록 설계된 CCI HD는 1.5 마이크론만큼 얇은 두께를 측정하고 50 나노미터까지의 코팅을 분석할 수 있습니다.
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기술 설명
- 최대 2048 x 2048 픽셀의 고해상도와 넓은 시야각을 제공합니다.
- 전체 측정 범위에 걸쳐 0.1 Å의 해상도를 제공합니다.
- 반사 표면의 반사율을 0.3%에서 100%까지 간편하게 측정할 수 있습니다.
- 유효 반복성(RMS) <0.2 Å, 단계별 샘플 반복성 <0.1%
- 다국어 지원 64비트 윈도우 제어 및 분석 소프트웨어
사양
| 개요 | |
| 체계 | |
| 측정 유형 | 3D 비접촉 |
| 측정 모드 | 코히어런스 상관 간섭계(CCI) |
| Z 스캐너 | 초고정밀 폐쇄 루프 무압전 스캐너 |
| 대물렌즈 마운트 | 3방향 포탑 |
| X/Y 단계 | 트랜스 |
| Z 스테이지 | 트랜스 |
| 성능 | |
| 단일 스캔 범위(Z) | 표준 규격은 2.2mm(폐쇄 루프)입니다. |
| Z-스티칭 범위 | 렌즈의 작동 거리까지 (현재 최대치는 40mm) |
| Z축 해상도(최대) | 0.01 nm |
| 노이즈 플로어(Z) | <0.02 nm [0.2 Å] |
| 표면 RMS의 반복성 | <0.01 nm [0.1 Å] |
| 측정 지점 수 | 2048 x 2048 |
| 계단 높이 반복성 | < 0.02% |
| 표면 반사율 | < 0.34% - 100% |
