범용 비접촉식 표면 분석기
Taylor Hobson - CCI MP
CCI MP 비접촉식 3D 표면 측정 및 분석 시스템은 연마된 표면부터 연마된 표면에 이르기까지 다양한 표면 측정 응용 분야에서 널리 사용되는 시스템입니다.
Gọi (+84) 828 31 08 99 để được tư vấn.
기술 설명
- 최대 1048 x 1048 픽셀의 고해상도와 넓은 시야각을 제공합니다.
- 이미지 스티칭 기술은 X, Y, Z축 방향으로 최대 100mm까지 확장됩니다.
- 유효 반복성(RMS) <0.2 Å, 단계별 샘플 반복성 <0.1%
- 전체 측정 범위에 걸쳐 옹스트롬(Å) 단위까지 해상도를 제공합니다.
- 다국어 지원 64비트 윈도우 제어 및 분석 소프트웨어
사양
| 개요 | |
| 체계 | |
| 측정 유형 | 3D 비접촉 |
| 측정 모드 | 코히어런스 상관 간섭계(CCI) |
| Z 스캐너 | 초고정밀 폐쇄 루프 무압전 스캐너 |
| 대물렌즈 마운트 | 3방향 포탑 |
| X/Y 단계 | 트랜스 |
| Z 스테이지 | 트랜스 |
| 성능 | |
| 단일 스캔 범위(Z) | 표준 규격은 2.2mm(폐쇄 루프)입니다. |
| Z-스티칭 범위 | 렌즈의 작동 거리까지 (현재 최대치는 40mm) |
| Z축 해상도(최대) | 0.01 nm |
| 노이즈 플로어(Z) | <0.08 nm="" 0="" 8="" span=""> |
| 표면 RMS의 반복성 | <0.01 nm=" 0="" 1=" span=""> |
| 측정 지점 수 | 1024 x 1024 |
| 계단 높이 반복성 | <0.02% |
| 표면 반사율 | <0.34% - 100% |
