光学ガラスプロファイル偏差測定機
Taylor Hobson - Luphos series
LuphoScan は、MWLI® (多波長干渉法) テクノロジーに基づいた干渉スキャン システムです。このシステムは、光学ガラスの表面を非接触で 3D 測定するために設計されています。
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技術仕様
- あらゆる対称面で使用可能
- 高精度
- あらゆる材質に対応：透明ガラス、反射鏡、すりガラス、研磨面、粗い面
- 高速測定
- サンプル直径: 最大120mm、260mm、または420mmまでオプション
仕様
| 概要 | |||
| 測定システム | |||
| モデル | ルフォスキャン120 | ルフォスキャン 260 | ルフォスキャン 420 |
| 機械タイプ | 4軸（機械ベアリング3個、エアベアリング1個） | ||
| 測定原理 | 走査点干渉法 | ||
| センサー技術 | 光ファイバーベースの多波長干渉計（MWLI®） | ||
| スキャンモード（3D） | 螺旋、等距離、法線 | ||
| 測定体積（直径×高さ） | 120mm×75mm | 260 mm x 75 mm | 420mm×100mm |
| 最大傾斜 | 90° | ||
| 参照システム | 3つのMWLI®センサー | ||
| インバーフレーム | |||
| 1次R、Z、T軸誤差補正 | |||
| オブジェクトパラメータ | |||
| 表面形状 | 非球面、球面、平面、わずかに自由形状 | ||
| 表面仕上げ | 研磨、粗面、透明、鏡面、不透明 | ||
| 反射率範囲 | 0.5％～100％ | ||
| 球状の出発 | 制限なし（オブジェクトセンサーは理想的なプロファイルに従います） | ||
| 90°傾斜の最大直径 | 25ミリメートル | 75ミリメートル | 105ミリメートル |
| 最大物体直径 | 120ミリメートル | 260ミリメートル | 420ミリメートル |
| 最大物体重量 | 15キロ | 25キロ | 50キロ |
| 機械特性 | |||
| オブジェクトマウント | 油圧拡張チャック（HD25またはHD40）、オプション：3爪チャック（D = 22…200 mm） | ||
| 内部データレート | 2500 Hz | ||
| 波長範囲 | 1530 nm ... 1610 nm | ||
| レーザー分類 | クラス1 | ||
| 連続波出力（CW）、< 1 mW | |||
| 機械寸法（幅x奥行x高さ） | 70 cm x 85 cm x 186 cm | 85 cm x 100 cm x 186 cm | 100 cm x 115 cm x 186 cm |
| 機械重量 | 325キロ | 450キロ | 600キロ |
| 圧縮空気の必要量 | 6..10 bar、20リットル/分 | ||
| 電力要件 | 230 VAC、50/60 Hz、< 700 W | ||
| 測定特性 | |||
| 精度（2σ） | 磨かれた | Ra < 1 μm | 1μm ≤ Ra ≤ 3μm |
| （入射角≦±1°） | |||
| ±50 nm | ± 250 nm | ± 1 μm | |
| 縦方向解像度 | 0.1 nm | ||
| スポットサイズ | 4μm | ||
| 横方向解像度（ポイント/mm2） | （調整可能）0.1 ... 2×105 | ||
| データ処理 | |||
| パラメータ入力 | 非球面係数（偶数、奇数） | ||
| 測定データ | 3D、2Dラインスキャン | ||
| データのエクスポート形式 | 3D | ザイゴ メトロプロ XYZ、 | |
| X、Y、Z、dN (ASCII、バイナリ)、X、Y、Z、dZ (ASCII、バイナリ) | |||
| 2D | テイラーホブソンMOD、テイラーホブソンPRF、 | ||
| X,Z,dN (ASCII、バイナリ)、X,Z,dZ (ASCII、バイナリ) | |||
| データ分析 | 3D表面可視化、調整可能な断面、2Dグラフィックス、 | ||
| フィルタリング（LPF、HPF、ガウス）、ベストフィット半径、非球面フィット、PV、 | |||
| RMS、接線および半径方向の誤差、測定レポート（PDF） | |||
