高速表面分析装置
Taylor Hobson - CCI MP-HS
研究に最適な CCI MP-HS は、非常に粗い表面から非常に光沢のある表面まで、あらゆる表面パラメータを測定し、幅広いサンプル タイプで柔軟な測定機能を提供します。
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技術仕様
- 最大1048 x 1048ピクセルの高解像度と広い視野角
- X、Y、Z軸の高度な画像ステッチング技術により測定範囲が拡大
- 実効再現性（RMS）< 0.2 Å、ステップサンプルの再現性< 0.1%
- 一体型防振テーブルにより、ノイズ信号を最小限に抑え、システムパフォーマンスを最適化します。
- 多言語対応64ビットWindows分析および制御ソフトウェア
仕様
| 概要 | |
| システム | |
| 測定タイプ | 3D非接触 |
| 測定モード | コヒーレンス相関干渉法（CCI） |
| Zスキャナー | 超高精度クローズドループピエゾレススキャナ |
| 対物レンズマウント | 3ポジションタレット |
| X/Yステージ | 自動 |
| ステージから | 自動 |
| パフォーマンス | |
| 単一スキャン範囲（Z） | 標準2.2 mm（閉ループ） |
| Zステッチ範囲 | レンズの作動距離まで（現在の最大値は40 mm） |
| Z解像度（最大） | 0.01 nm |
| ノイズフロア（Z） | <0.05 nm [0.5 Å] |
| 表面RMSの再現性 | <0.01 nm [0.1 Å] |
| 測定点の数 | 1024×1024 |
| ステップ高さの再現性 | < 0.02% |
| 表面反射率 | <0.34% - 100% |
