高解像度表面分析装置
Taylor Hobson - CCI HD
製造施設や研究施設での使用向けに設計された CCI HD は、1.5 ミクロンという薄さを測定し、50nm までのコーティングを分析できます。
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技術仕様
- 最大2048 x 2048ピクセルの高解像度と広い視野角
- 測定範囲全体で0.1Åの分解能
- 反射面を0.3%から100%まで簡単に測定
- 実効再現性（RMS）<0.2Å、サンプル間の再現性<0.1%
- 多言語対応64ビットWindows分析および制御ソフトウェア
仕様
| 概要 | |
| システム | |
| 測定タイプ | 3D非接触 |
| 測定モード | コヒーレンス相関干渉法（CCI） |
| Zスキャナー | 超高精度クローズドループピエゾレススキャナ |
| 対物レンズマウント | 3ポジションタレット |
| X/Yステージ | 自動 |
| ステージから | 自動 |
| パフォーマンス | |
| 単一スキャン範囲（Z） | 標準2.2 mm（閉ループ） |
| Zステッチ範囲 | レンズの作動距離まで（現在の最大値は40 mm） |
| Z解像度（最大） | 0.01 nm |
| ノイズフロア（Z） | <0.02 nm [0.2 Å] |
| 表面RMSの再現性 | <0.01 nm [0.1 Å] |
| 測定点の数 | 2048 x 2048 |
| ステップ高さの再現性 | < 0.02% |
| 表面反射率 | < 0.34% - 100% |
