Kowotest - nanoXspot

Gauge đo tiêu điểm tia X cấp nano (<100 µm)

Name: Kowotest - nanoXspot
Rating: 4.7 (163 reviews)

Kowotest - nanoXspot

Gauge đo tiêu điểm tia X cấp nano với độ chính xác cao, hỗ trợ đánh giá microfocus và nanofocus theo tiêu chuẩn ISO 32543.

Đo tiêu điểm < 100 µm (micro & nano focus)
Hỗ trợ đánh giá tiêu điểm cực nhỏ:
- từ ~100 nm đến vài µm
Thiết kế đa cấu trúc (multi-pattern):
- Line groups (2 → 63 µm)
- Hole arrays (10 → 100 µm)
Thuật toán:
- Tái tạo tiêu điểm (filtered back projection)
- Phân tích:
  - Edge Spread Function (ESF)
  - Line Spread Function (LSF)
  - MTF
Giảm phụ thuộc người vận hành (alignment & fitting tự động)
Yêu cầu chất lượng ảnh thấp hơn so với phương pháp truyền thống
Tương thích tiêu chuẩn:
- ISO 32543
- EN 12543 (liên quan)