断面検査用X線システム
GE - Nanotom M
マイクロCTとナノCT（3D）の2つのオプションを備えたナノCTイメージングシステム。大型サンプルでも高い空間分解能を実現。Cスキャンによる自動検査も可能。
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技術仕様
- CT テクノロジー X 線検査システムは、材料研究、鉱石サンプル、金型検査、電子半導体部品、金属機械部品、複雑な組み立てなどの用途に適しています。
- 2DデジタルX線画像とCTスキャン技術を組み合わせる
- 180kV/15WバイポーラX線管
- 2D倍率：1.5倍→100倍
- 検出可能な小サイズ：200nm；3D解像度：<500nm
- 最大試験サンプルサイズ（H x D）：150 mm x 120 mm（/250 mm x 240 mm）；5軸制御
- 最大試験サンプル重量：2 kg（/3 kg）
- 寸法付き画像を再現し、CAD図面と比較する機能（オプション）
