Taylor Hobson - Form Talysurf Intra

便携式粗糙度测量和分析设备

Taylor Hobson - Form Talysurf Intra

tra 型号配备坚固的保护壳,适用于需要高便携性且同时满足以下标准的表面粗糙度和轮廓测量应用……

技术描述

  • 测量范围(Z)1mm/分辨率16nm。可提供轮廓测量以及需要高精度和便携性的表面粗糙度测量。
  • 测量行程可达50毫米。是车间和建筑工地测量应用的理想选择。
  • 直线度 0.4 µm/ 50mm。参考轴的高精度使得即使对大型样品也能进行滑动式波纹度、形状和轮廓测量。
  • 最小采样间隔仅为 0.5 µm,非常适合测量和分析小样品。
  • 手动调节的垂直行程可容纳大型和高大的样品,提供像固定式机器一样的稳定性和精度。

规格

概述
水平性能
导线长度 - X 最小值/最大值0.1毫米至50毫米(0.004英寸至1.97英寸)
横移/测量速度最大速度 10 毫米/秒 (0.39 英寸/秒) - 1 毫米/秒 (0.039 英寸/秒)
X 的数据采样间隔0.5 μm(20 μin)
直线度误差(Pt)0.4 微米/50 毫米(16 微英寸/1.96 英寸)
任意 20 毫米范围内 0.2 微米(任意 0.78 英寸范围内 8 微英寸)
垂直性能
标称测量范围(Z)1毫米(0.04英寸)
分辨率(Z)16nm @ 1mm 范围(0.63 μin @ 0.04 in)
3nm @ 0.2mm 范围(0.12 μin @ 0.008 in)
距离分辨率比65,536 : 1
唱针臂长、针尖尺寸、压力60mm臂长,2μm半径圆锥金刚石触针,1mN力
系统性能
球形校准伪影标称半径 12.5 毫米(0.49 英寸)
校准不确定度 - Pt< 0.25μm (10 μin)
半径测量不确定度0.1 - 12.5 毫米(0.004 - 0.5 英寸)= 标称值的 2% 至 0.04%
12.5 - 25 毫米(0.5 - 1 英寸)= 标称值的 0.04%
25 - 1000 毫米(1 - 39.4 英寸)= 标称值的 0.04% 至 0.2%
角度测量不确定度测量角度的误差在 1% 以内(最大范围为 +/- 35º)
参数高度不确定性误差在 2% + 6nm (0.24μin) 以内(仅限峰值参数)
尺寸(长 x 深 x 高)横梁单元 - 343 x 116 x 160 毫米(13.5 x 4.6 x 6.3 英寸)
控制模块 - 285 x 200 x 80 毫米(11.2 x 0.9 x 3.2 英寸)
重量横梁单元 - 4.9公斤(10.8磅)
控制模块 - 1.9公斤(4.2磅)
环境笔记
储存温度5℃至40℃(41℉至104℉)
储存湿度10%至80%相对湿度,非冷凝
工作温度15ºC 至 30ºC(59ºF 至 86ºF)
温度梯度每小时低于 2ºC (低于 3.6ºF)。
工作湿度45%至75%相对湿度,非冷凝
最大均方根楼板振动速度为 2.5 μm/s (100 μin/s),频率低于 50Hz
速度为 5.0 μm/s (200 μin/s),频率 > 50Hz
电力供应110/220/240伏 - 50/60赫兹
功耗10VA 横向移动单元 / 18VA 处理器
安全EN 61010-1:2001
EMCEN 61000-6-4:2001
EN 61000-6-1:2001
注:泰勒·霍布森公司秉持持续改进的理念,以应对技术发展带来的挑战。因此,我们保留偏离产品目录规格的权利。

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