Máy đo sai lệch biên dạng kính quang học
Taylor Hobson - Luphos series
LuphoScan là hệ thống đo quét giao thoa dựa trên công nghệ MWLI® (giao thoa đa sóng). Hệ thống được thiết kế đo 3D không tiếp trên bề mặt các loại kính quang.
Gọi (+84) 283 894 0623 để được tư vấn.
Đặc Tính Kỹ Thuật
- Sử dụng trên bất kỳ bề mặt đối xứng
- Độ chính xác cao
- Đo trên mọi vật liệu: thủy tinh trong suốt, gương phản xạ, gương mờ, mặt đánh bóng, bề mặt nhám
- Tốc độ đo nhanh
- Đường kính mẫu: tùy chọn đến 120mm, 260mm hoặc 420mm
Thông Số Kỹ Thuật
Overview | |||
Measurement system | |||
Models | LuphoScan 120 | LuphoScan 260 | LuphoScan 420 |
Machine type | 4-axis (3 mechanical bearings, 1 air bearing) | ||
Measurement principle | Scanning point interferometry | ||
Sensor technology | Fibre optics based multi-wavelength interferometer (MWLI® ) | ||
Scanning mode (3D) | Spiral, equidistant, normal | ||
Measurement volume (diameter x height) | 120 mm x 75 mm | 260 mm x 75 mm | 420 mm x 100 mm |
Maximum tilt | 90° | ||
Reference system | 3 MWLI® sensors | ||
Invar frame | |||
1st order R, Z, T axis error compensation | |||
Object parameters | |||
Surface shapes | Aspheric, spheric, flat, slight freeform | ||
Surface finish | Polished, rough, transparent, specular, opaque | ||
Reflectivity range | 0,5 % ... 100 % | ||
Spherical departure | Unrestricted (object sensor follows ideal profile) | ||
Maximal diameter with 90° slope | 25 mm | 75 mm | 105 mm |
Maximum object diameter | 120 mm | 260 mm | 420 mm |
Maximum object weigh | 15 kg | 25 kg | 50 kg |
Machine characteristics | |||
Object mount | Hydraulic expansion chuck (HD25 or HD40), optional: 3-jaw chuck (D = 22…200 mm) | ||
Internal data rate | 2500 Hz | ||
Wavelength range | 1530 nm ... 1610 nm | ||
Laser classification | Class 1 | ||
Continuous wave output (CW), < 1 mW | |||
Machine dimensions (w x d x h) | 70 cm x 85 cm x 186 cm | 85 cm x 100 cm x 186 cm | 100 cm x 115 cm x 186 cm |
Machine weight | 325 kg | 450 kg | 600 kg |
Compressed air requirement | 6..10 bar, 20 litre/min | ||
Electrical power requirement | 230 VAC, 50/60 Hz, < 700 W | ||
Measurement characteristics | |||
Accuracy (2σ) | polished | Ra < 1 μm | 1 μm ≤ Ra ≤ 3 μm |
(angle of incidence ≤ ± 1°) | |||
± 50 nm | ± 250 nm | ± 1 μm | |
Longitudinal resolution | 0.1 nm | ||
Spotsize | 4 μm | ||
Lateral resolution (points per mm2) | (adjustable:) 0.1 ... 2×105 | ||
Data handling | |||
Parameter input | Aspheric coefficients (even, uneven) | ||
Measurement data | 3D, 2D linescan | ||
Data export formats | 3D | Zygo MetroPro XYZ, | |
X,Y,Z,dN (ASCII, binary), X,Y,Z,dZ (ASCII, binary) | |||
2D | Taylor Hobson MOD, Taylor Hobson PRF, | ||
X,Z,dN (ASCII, binary), X,Z,dZ (ASCII, binary) | |||
Data analysis | 3D surface visualisation, adjustable cross-section, 2D graphics, | ||
filtering (LPF, HPF, Gaussian), best-fit radius, aspheric fit, PV, | |||
RMS, tangential & radial errors, measurement report (PDF) |