첨단 표면 거칠기 및 프로파일 분석 장비
Taylor Hobson - Form Talysurf PGI series
Form Talysurf® PGI 시리즈는 레이저 간섭 기술을 활용하여 매우 정밀한 결과를 제공하는 다목적 표면 거칠기 및 프로파일 측정 및 분석 시스템입니다.
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기술 설명
- PGI 시리즈는 수평 이동 거리, 트랜스듀서, 해상도 및 탁월한 선형성 측면에서 폭넓은 옵션을 제공하여 사용자가 베어링, 광학 유리 및 고정밀 기계 부품 생산의 품질 관리에 최적화된 시스템을 구축할 수 있도록 지원합니다.
- 측정값을 2D/3D로 화면에 표시할 수 있는 기능.
- 수평 및 수직 이동 부품은 넓은 작동 범위를 가지고 있습니다.
- 높은 정확도
- 단 한 번의 측정으로 표면 거칠기, 단면 형상, 파형 등 필요한 모든 데이터를 수집할 수 있습니다.
- 해당 장치를 자동으로 작동하도록 프로그래밍할 수 있습니다.
- 다양한 옵션을 제공하는 다이아몬드 프로브 팁을 통해 광범위한 응용 분야에서 사용할 수 있습니다.
- μltra 소프트웨어는 다양한 옵션을 제공하는 강력한 측정 및 결과 분석 도구입니다.
- 공압식 지지대가 있는 방진 시스템
- 시간을 절약하고 조작이 간편합니다.
사양
| 개요 | |||
| 시스템 성능 | 2000 | 2000E | 2000년대 |
| 교정 양식 오차(포인트) | < 0.20 μm (8 μin) | ||
| 시스템 노이즈 | Rq < 2nm(0.08μin), Rz < 10nm(0.39μin) | ||
| 반지름 측정 불확실성 | 0.1 - 10mm (0.004 - 0.39인치) - 공칭값 1μm 미만 | ||
| 10 - 360mm (0.39 - 14.17인치) - 공칭값의 0.01% ~ 0.006% | |||
| 경사 측정 불확실성 | 0.5 아크분 | ||
| Z축 표시의 반복성 | 평평한 표면 - 0.08 μm (3.1 μin) | ||
| 곡면 - 0.08 μm (3.1 μin) | |||
| 수평적 성능 | 2000 | 2000E | 2000년대 |
| 횡단 길이 – X 최대/최소 | 120mm / 0.1mm (4.7인치 / 0.004인치) 또는 200mm / 0.1mm (7.9인치 / 0.004인치) | ||
| 이동 속도 | 최대 13mm/s (0.51인치/s) | ||
| 측정 속도 | 0.25 mm/s, 0.5 mm/s, 1 mm/s 및 2 mm/s (0.01 in/s, 0.02 in/s, 0.04 in/s 및 0.08 in/s) | ||
| X에서의 최소 데이터 간격 샘플링 | 0.125 μm (5 μin) | ||
| 직선도 정확도(점) | 120mm 트래버스 유닛 - 0.08μm(3.2μin) / 200mm 트래버스 유닛 - 0.110μm(4.3μin) | ||
| 축 조절 가능 | (1 + 0.02 L) μm | ||
| 수직 성능 | 2000 | 2000E | 2000년대 |
| 명목 측정 범위(Z) | 20mm (0.79인치) | ||
| 해상도(Z) | 5.3 nm (0.21 μin) | 1.3 nm (0.05 μin) | 0.3 nm (0.01 μin) |
| 저자 범위 | 3,773,585 : 1 | 15,384,615 : 1 | 66,666,666 : 1 |
| 선형성 정확도 | 0.07 + 0.03 Z [mm] μm | ||
| (3 + 30 Z[in] μin) | |||
| 스타일러스 암 길이 | 표준 길이 100mm | ||
| 팁 사이즈 | 반지름 2μm 원뿔형 다이아몬드 | ||
| 수확고 | < 1mN | ||
| 측정소 | 2000 | 2000E | 2000년대 |
| 트래버스 유닛의 전동식 틸팅 | 수평면에서 ±9° 범위 내 선택 가능 | ||
| 기기 무게 | 223kg (450mm 컬럼) (옵션 사양인 700mm 컬럼은 237kg) | ||
| 전동식 수직 기둥 | 450mm(17.7인치) (옵션 사양: 700mm(29.5인치)) | ||
| 환경 | 전기 공급 | ||
| 보관 온도 | 5°C ~ 40°C (41°F ~ 104°F) | 돈 | 교류 전원, 단상 |
| 접지 (3선식 시스템) | |||
| 저장 | 상대 습도 10%~80%, 비응축 | 계측기 및 컴퓨터 전압 | 90V - 230V |
| 작동 온도 | 18°C ~ 22°C (64°F ~ 72°F) | 빈도 | 47Hz ~ 63Hz |
| 경사진 머리카락 | 시간당 2°C 미만 (시간당 3.6°F 미만) | 공급 전압 과도 현상 – 폭 | EN 61000 - 4 - 4 : 1995 |
| 작동 습도 | 상대 습도 45%~75%, 비응축 | 전력 소비량 | 500 VA |
| 최대 RMS 바닥 진동수 | 3 μm/s (120 μin/s) < 50 Hz | 안전 | EN 61010 - 1 : 2001 |
| 6 μm/s (200 μin/s) (50 Hz 미만) | EMC | EN 61000 - 6 - 4 : 2001 | |
| EN 61000 - 6 - 1 : 2001 | |||
