高度な粗さおよび輪郭分析装置
Taylor Hobson - Form Talysurf PGI series
Form Talysurf® PGI シリーズは、レーザー干渉技術を使用して超高精度の結果を提供する、多用途の粗さおよびプロファイル測定および分析システムです。
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技術仕様
- PGI シリーズには、トラバース、プローブ、解像度、直線性に関する独自のオプションが幅広く用意されており、高精度が求められるベアリング、光学部品、機械部品の生産における品質管理に最適なシステムを構築できます。
- 画面上で2D/3Dを測定して表示する機能
- 広い動作範囲で水平および垂直方向に移動可能
- 高精度
- 一度測定するだけで、粗さ、輪郭、波形などの完全なデータを収集できます。
- デバイスを自動的に動作するようにプログラムする機能
- さまざまなオプションを備えたダイヤモンドプローブチップにより、幅広い用途に対応できます。
- 多くのオプションを備えたμltraソフトウェアは、結果の測定と分析を効果的にサポートします。
- 空気圧サポート付き防振システム
- 時間を節約、簡単な操作
仕様
| 概要 | |||
| システムパフォーマンス | 2000 | 2000E | 2000年代 |
| 校正フォームエラー（Pt） | < 0.20 μm (8 μin) | ||
| システムノイズ | Rq < 2 nm (0.08 μインチ)、Rz < 10 nm (0.39 μインチ) | ||
| 半径測定の不確実性 | 0.1 - 10mm (0.004 - 0.39インチ) - 公称値の1μm未満 | ||
| 10 - 360mm (0.39 - 14.17インチ) - 公称値の0.01% ～ 0.006% | |||
| 傾斜測定の不確かさ | 0.5分角 | ||
| Z軸指示の再現性 | 平面 - 0.08 μm (3.1 μin) | ||
| 曲面 - 0.08 μm (3.1 μin) | |||
| 水平方向のパフォーマンス | 2000 | 2000E | 2000年代 |
| トラバース長さ – X 最大 / 最小 | 120 mm / 0.1 mm (4.7 インチ / 0.004 インチ) または 200 mm / 0.1 mm (7.9 インチ / 0.004 インチ) | ||
| トラバース速度 | 最大13 mm/秒（0.51インチ/秒） | ||
| 速度の測定 | 0.25 mm/秒、0.5 mm/秒、1 mm/秒、2 mm/秒（0.01 インチ/秒、0.02 インチ/秒、0.04 インチ/秒、0.08 インチ/秒） | ||
| Xにおける最小データサンプリング間隔 | 0.125 μm（5 μin） | ||
| 真直度精度（Pt） | 120 mm トラバースユニット - 0.08 μm (3.2 μin) / 200 mm トラバースユニット - 0.110 μm (4.3 μin) | ||
| X軸表示精度 | （1 + 0.02 L）μm | ||
| 垂直方向のパフォーマンス | 2000 | 2000E | 2000年代 |
| 公称測定範囲（Z） | 20 mm（0.79インチ） | ||
| 解像度（Z） | 5.3 nm（0.21 μin） | 1.3 nm（0.05 μin） | 0.3 nm（0.01 μin） |
| 範囲から解像度 | 3,773,585 : 1 | 15,384,615 : 1 | 66,666,666 : 1 |
| 直線性精度 | 0.07 + 0.03 Z [mm] μm | ||
| （3 + 30 Z[in] μin） | |||
| スタイラスアームの長さ | 標準長さ100mm | ||
| チップサイズ | 半径2μmの円錐球ダイヤモンド | ||
| 力 | 1mN未満 | ||
| 測定ステーション | 2000 | 2000E | 2000年代 |
| トラバースユニットの電動傾斜 | オプションで水平から±9° | ||
| 機器重量 | 223 Kg (450 mm カラム) (オプションの 700 mm カラム 237 Kg) | ||
| 電動垂直コラム | 450 mm (17.7 インチ) (オプションで 700 mm (29.5 インチ)) | ||
| 環境 | 電気供給 | ||
| 保管温度 | 5℃～40℃（41℉～104℉） | 供給タイプ | 交流電源、単相、 |
| アース（3線式） | |||
| 保管湿度 | 10%～80%相対、結露なし | 計器とコンピュータの電圧 | 90V～230V |
| 動作温度 | 18℃～22℃（64℉～72℉） | 頻度 | 47 Hz～63 Hz |
| 温度勾配 | 1時間あたり2℃未満（1時間あたり3.6℉未満） | 供給電圧過渡 – 幅 | EN 61000 - 4 - 4 : 1995 |
| 動作湿度 | 45%～75%相対、結露なし | 消費電力 | 500VA |
| 最大RMS床振動 | 50 Hz未満で3 μm/s（120 μin/s） | 安全性 | EN 61010 - 1 : 2001 |
| 6 μm/s (200 μin/s)、< 50 Hz | EMC | EN 61000 - 6 - 4 : 2001 | |
| EN 61000 - 6 - 1 : 2001 | |||
